فصل اول : مقدمه
1-1- اندازه گیری
1-2- نیاز به اندازه گیری
فصل دوم : دستگاه اندازه گیری مختصات ( cmm )
2-1- مقدمه
2-2- تاریخچه
2-3- اجزای تشکیل دهنده cmm
2-3-1- سازه مکانیکی
2-3-2- نرم افزار cmm
2-3-3- پرابها
2-4- کالیبراسیون
2-5- شرایط محیطی
فصل سوم : مقدمه ای بر فناوری نانو
3-1- مقدمه
3-2- تعریف
3-3- تاریخچه فناوری نانو
3-4- روشهای ساخت نانو مواد
3-4-1- فرآوری مکانیکی
3-4-1-1- آسیاب های مکانیکی
3-4-1-1-1- آلیاژ سازی مکانیکی
3-4-1-1-2- عوامل موثر در آسیاب مکانیکی
3-4-1-1-3- آسیاب های گلوله ای با انرژی زیاد
3-4-1-1-4- آسیاب های گلوله ای سیاره ای
3-4-1-1-5- آسیاب های گلوله ای لرزشی
3-4-1-1-6- تصادم گلوله – پودر – گلوله
3-4-2- الکترو ریسندگی
3-4-3- قوس الکتریکی
3-4-3-1- روش کار
3-4-4- رسوب دهی فاز بخار
3-4-4-1- رسوب دهی شیمیایی بخار
3-4-4-2- رسوب دهی فیزیکی بخار
3-4-5- پاشش حرارتی
3-4-6- روش سل ژل
3-5- مهمترین کاربردها
3-5-1- کاربرد در خودروسازی
فصل چهارم : روش های اندازه گیری نانو مواد
4-1- تاریخچه
4-2- اسپکتروسکوپی الکترون اوژه
4-3- پراش اشعه ایکس
4-4- آنالیز بر مبنای یون
4-5- طیف سنج رامان
4-5-1- اصول کار
4-5-2- ساختمان دستگاه
4-5-3- کاربردها
4-6- طیف سنجی جرمی
4-7- سیستم باریکه یونی
4-7-1- اصول کار
4-7-2- کاربردها
4-8- دستگاه طیف سنجی مادون قرمز
4-9- رزونانس مغناطیسی هسته
4-10- پراکندگی بازگشتی رادرفورد
4-10-1- اصول فیزیکی
4-10-2- تجهیزات مورد استفاده
4-10-3- مزایا و معایب
4-10-4- کاربردها
4-11- طیف‌سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز
4-11-1- تئوری
4-11-2- تجزیه کیفی
4-11-3- کاربردها
4-12- طیف نگاری الکترونی برای آنالیز شیمیایی
4-12-1- کاربردها
4-12-2- نمونه ها
4-12-3- محدودیت ها
4-12-4- مدت زمان آنالیز
4-13- میکروسکوپ الکترونی عبوری
4-14- میکروسکوپ الکترونی روبشی
4-15- میکروسکوپ الکترونی روبشی محیطی
فصل پنجم : نانو cmm ها
5-1- مقدمه
5-2- میکروسکوپ نوری میدان نزدیک روبشی
5-3- میکروسکوپ روبشی تونلی
5-3-1- مقدمه
5-3-2- نگاهی اجمالی بر عملکرد میکروسکوپ روبشی تونلی
5-3-3- روش های مبتنی بر استفاده مستقیم از STM در تعیین مشخصات سطوح
5-3-3-1- مد جریان ثابت
5-3-3-2- مد ارتفاع ثابت
5-3-3-3- مد نقشه برداری از تابع کار سطح
5-3-3-4- تعیین نقشه چگالی حالات الکترونها
5-3-3-5- مد سنجش نقشه ترازهای انرژی ارتعاشی الکترونها
5-4- میکروسکوپ نیروی اتمی
5-4-1- مقدمه
5-4-2- نحوه عملکرد
5-4-3- آشکار سازی جهت گیری تیرک
5-4-4- هندسه تیرک
5-4-5- سوزن ها
5-4-6- نحوه برهمکنش سوزن با سطح
5-4-7- مدهای مختلف AFM
5-4-7-1- مدهای تماسی
5-4-7-1-1- مد نیرو ثابت
5-4-7-1-2- مد ارتفاع ثابت
5-4-7-2- روش های شبه تماسی
5-4-7-2-1- مد دامنه ثابت
5-4-7-2-2- مد تصویر برداری از اختلاف فاز
5-4-8- کاربردها
5-4-8-1- مطالعة فرآیندهای اصطکاکی و تحول ادوات تحت اصطکاک در ابعاد نانومتر
5-4-8-2- متالوژی و خوردگی فلزات
5-4-8-3- غشاها و فیلتر ها
5-4-8-4- کنترل کیفیت و بررسی میزان نقصهای سطحی در واحدهای حافظة مغناطیسی
5-5- نانو CMM
5-5-1- مقدمه
5-5-2- ایده های اولیه
5-5-3- فاکتور های مختلف ماشین NANO CMM
5-5-4- ویژگیهای ماشین نانو CMM
5-5-4-1- مقیاس
5-5-4-2- محرک
5-5-4-3- میز
5-5-4-4- نانو پراب
5-5-4-4-1- پراب NPL
5-5-4-4-2- پراب فنر سه برگی
5-5-4-4-3- پراب PTB
5-5-4-4-4- پراب METAS
5-5-4-4-5- پراب فیبر نوری PTB
5-5-4-4-6- پراب فیبر نوری MITUTOYO
5-5-4-5- مواد بکار برده شده
5-5-5- پیشرفت های صورت گرفته در زمینه نانو CMM ها
5-5-5-1- نانو CMM موازی با مکانیزم سه درجه آزادی
5-5-5-2- استفاده از مفاصل مغناطیسی کروی
5-5-5-3- توسعه سیستم نانو پراب در دانشگاه توکیو
5-5-6- آنالیز و تحلیل اجزای ماشین نانو CMM
5-5-6-1- ساختمان ماشین
5-5-6-1-1- آنالیز تنش
5-5-6-1-2- آنالیز رسانش گرمایی
5-5-6-1-3- آنالیز دفرمه شدن گرمایی
5-5-6-2- آنالیز سوزن پراب تماسی
5-5-6-2-1- بررسی میزان جابجایی در اثر نیرو
5-5-6-2-2- آنالیز توزیع تنش در نوک سوزن در اثر نیروی ماکزیمم
5-5-6-2-3- بررسی تغییر شکل پلاستیک پس از برداشتن بار
5-5-7- نتایج و پیشنهادات
پیوست : تصاویر ، نمودارها و جداول
1- تصاویر مربوط به فصل دوم
2- تصاویر مربوط به فصل چهارم
3- تصاویر مربوط به فصل پنجم
مراجع
1- مراجع فارسی
2- اینترنت
3- مراجع لاتین